Descrição do gás
Tetrafluorocarbono, também conhecido como tetrafluorometano. Gás incolor, inodoro e inodoro. Insolúvel em água, 0,0015 a 25 ℃ sob pressão normal, solúvel em clorofórmio e benzeno. Este produto não é tóxico e não é inflamável. Em altas concentrações, tem efeito anestésico. Seu gás de alta pureza e sua mistura com oxigênio de alta pureza são atualmente o gás de gravação a plasma mais utilizado na indústria de microeletrônica. Chemicalbook também pode ser usado como refrigerante de baixa temperatura e meio de isolamento. Boa estabilidade química e térmica, inerte a muitos reagentes, não hidrolisada a 1000 ℃. Não reage com cobre, níquel e tungstênio à temperatura ambiente. Devido à forte estabilidade química da ligação CF, os perfluorocarbonos representados por CF4 podem ser considerados essencialmente não tóxicos.
Principais usos
O tetrafluoreto de carbono é atualmente o gás de gravação a plasma mais utilizado na indústria microeletrônica. É amplamente utilizado para gravar materiais de película fina, como silício, dióxido de silício, nitreto de silício, vidro fosfoossilicato e tungstênio. Também é amplamente utilizado na limpeza de superfícies de dispositivos eletrônicos, produção de células solares, tecnologia laser, refrigeração de baixa temperatura, isolamento de gás, agentes de detecção de vazamentos, controle de atitude de foguetes espaciais, agentes de limpeza, lubrificantes e fluidos de freio na produção de circuitos impressos. . Devido à sua forte estabilidade química, o CF4 também pode ser usado em indústrias como fundição de metais e plásticos.
Armazenamento e precauções
Armazene em um armazém dedicado a gás não combustível, fresco e ventilado. Fique longe de faíscas e fontes de calor. A temperatura de armazenamento não deve exceder 30 ℃. Deve ser armazenado separadamente de materiais combustíveis e oxidantes, e o armazenamento misto deve ser evitado. A área de armazenamento deve estar equipada com equipamento de resposta a emergências para vazamentos.
