efeito
Na família dos gases eletrônicos, o silano, o fosfano, o borano e o arsano são amplamente utilizados e são matérias-primas extremamente importantes para a fabricação de CI. O fosfoano é uma importante fonte de dopagem do tipo N na fabricação de dispositivos semicondutores e também é usado em processos como precipitação química de vapor de polissilício, materiais GaP epitaxiais, implantação de íons, processo MOCVD e preparação de filmes passivos em vidro de fósforo-silício (PSG).
PH3, inflamável, explosivo, altamente tóxico, com níveis de toxicidade de PEL/TLV 0,3 ppm, STEL 1 ppm, LC50 20 ppm, IDLH 200 ppm, é uma substância perigosa altamente tóxica.
Resposta e eliminação de emergência
1、 Resposta de emergência a vazamentos
Evacuar rapidamente o pessoal da área contaminada para a direção do vento e isolá-lo imediatamente por 450 metros, com restrições estritas de entrada e saída. Corte a fonte de fogo. Recomenda-se que o pessoal de emergência use respiradores autônomos de pressão positiva e roupas de proteção. Elimine a fonte de vazamento tanto quanto possível. Ventilação razoável e difusão acelerada. Diluir e dissolver com água pulverizada. Construir aterros ou cavar fossas para conter uma grande quantidade de águas residuais geradas. Se possível, use um exaustor para levar o gás vazado para uma área aberta ou instale um bocal apropriado para queimá-lo. Os recipientes com vazamento devem ser manuseados, reparados e inspecionados adequadamente antes do uso.
2. Medidas de proteção
Proteção respiratória: Em condições normais de trabalho, usar máscara de gás filtrada (máscara facial completa). Em ambientes de alta concentração, é necessário usar respirador de ar ou respirador de oxigênio. Recomenda-se usar um respirador de ar durante resgate ou evacuação de emergência.
Proteção dos olhos: Use óculos de segurança química.
Proteção do corpo: Use uma jaqueta de gás adesiva tipo máscara.
Proteção das mãos: Usar luvas de borracha.
Outros: Fumar, comer e beber são estritamente proibidos no local de trabalho. Depois do trabalho, tome um banho e troque de roupa. Mantenha bons hábitos de higiene. A entrada em tanques, espaços restritos ou outras áreas de alta concentração para trabalho deve ser supervisionada por alguém.
3. Medidas de primeiros socorros
Inalação: Retire rapidamente do local para um local com ar fresco. Manter a permeabilidade das vias aéreas. Se a respiração estiver difícil, administre oxigênio. Se a respiração parar, realize imediatamente respiração artificial. Procurar atenção médica.
Método de extinção de incêndio: Os bombeiros devem usar máscaras de gás do tipo filtro (máscaras faciais completas) ou respiradores do tipo isolamento, usar roupas de proteção contra incêndio e gás de corpo inteiro e extinguir o fogo contra o vento. Corte a fonte de ar. Se a fonte de gás não puder ser cortada imediatamente, não é permitido extinguir o gás em chamas. Borrife água para resfriar o recipiente e, se possível, mova-o do fogo para uma área aberta. Agente extintor: água pulverizada, espuma, pó químico seco, dióxido de carbono.
